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下載一、產(chǎn)品概述
ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個電磁閥,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時,泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時避免氣體浪費。
ACU20PCD標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該PC數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號,可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。同時,可觸控顯示屏使操作更加便捷。ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥,穩(wěn)壓和泄壓應(yīng)用雙閥。
二、產(chǎn)品應(yīng)用
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實驗、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
三、產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ±0.5%F.S | |||
壓力控制器 | 1:50 | ||||
重復(fù)性 | ≤0.1% | ||||
傳感器響應(yīng)時間 | 0.2s | ||||
控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2) | ||||
運行溫度 | -10~+70℃ | ||||
溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||||
方位影響度 (90°變化) |
<0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器) | ||||
<0.6 KPa(差壓傳感器) | |||||
預(yù)熱時間 | 忽略不計 | ||||
機械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | |||
工藝連接 | G3/8" | ||||
密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | ||||
防護(hù)等級(外殼) | IP40 | ||||
電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | |||
數(shù)字輸出 | RS485/RS232 | ||||
電氣連接 | DB9 |
四、產(chǎn)品尺寸圖
五、可選配套測控軟件 (另外收取費用)
ACU20PCD-MC雙閥壓力控制器 選型表 (添加 11048 69159 、29145 69088 或 186 1279 0707 、186 1279 0733 幫您選型)
系列號 |
ACU20P |
產(chǎn)品類型 | 【C】壓力控制器 |
壓力類型 | 【A】絕壓 【G】表壓 |
耐壓范圍 | 【M】3MPa |
現(xiàn)場顯示狀況 | 【N】不帶液晶顯示 【X】帶液晶顯示 |
壓力范圍 |
【-100K】100KPa 【1M】1MPa 【5M】5MPa 【10M】10MPa 【15M】15MPa 【20M】20MPa |
被測介質(zhì) |
詳見密度參照表 |
流量輸入信號 | 【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC |
輸出信號 |
【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC |
供電電壓 | 【5】±15VDC 【4】24VDC |
通訊方式 | 【8】RS485 【2】RS232 |
密封材質(zhì) | 【V】氟橡膠 【T】丁腈橡膠 【N】氯丁橡膠 【Y】其他 |
使用接頭 | 【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他與廠家聯(lián)系 |
選型舉例 | ACU20P M A M N 100K 007 A1 B1 5 8 V E |