?
資料下載
下載一、產(chǎn)品概述
ACU20PCD雙閥壓力控制器集成兩個(gè)電磁閥,進(jìn)氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時(shí),泄壓閥自行打開進(jìn)行泄壓,快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時(shí)避免氣體浪費(fèi)。
ACU20PCD標(biāo)配一個(gè)壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制,該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號(hào),ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號(hào),可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過程。同時(shí),可觸控顯示屏使操作更加便捷。ACU20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對(duì)應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥,高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥,穩(wěn)壓和泄壓應(yīng)用雙閥。
二、產(chǎn)品應(yīng)用
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測(cè)試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
三、產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
精度(包括線性和滯后性)
±0.5%F.S
壓力控制器
1:50
重復(fù)性
≤0.1%
傳感器響應(yīng)時(shí)間
0.2s
控制穩(wěn)定性
≤±0.05%F.S(測(cè)定條件:1 L/min N2)
運(yùn)行溫度
-10~+70℃
溫度敏感性
0.1%FS/℃
漏率
1×10-9 SCCS He
方位影響度
(90°變化)
<0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器)
<0.6 KPa(差壓傳感器)
預(yù)熱時(shí)間
忽略不計(jì)
機(jī)械部件
材質(zhì)
不銹鋼
工藝連接
G3/8"
密封材質(zhì)
氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他
防護(hù)等級(jí)(外殼)
IP40
電氣特性
電源
15~24Vdc
數(shù)字輸出
RS485/RS232
電氣連接
DB9
四、產(chǎn)品尺寸圖
五、可選配套測(cè)控軟件 (另外收取費(fèi)用)
ACU20P-L壓力控制器 選型表 (添加 11048 69159 、29145 69088 或 186 1279 0707 、186 1279 0733 幫您選型)
系列號(hào) |
ACU20P |
產(chǎn)品類型 | 【C】壓力控制器 |
壓力類型 | 【A】絕壓 【G】表壓 |
耐壓范圍 | 【M】3MPa |
現(xiàn)場顯示狀況 | 【N】不帶液晶顯示 【X】帶液晶顯示 |
壓力范圍 |
【100K】100KPa 【1M】1MPa 【5M】5MPa 【10M】10MPa 【15M】15MPa 【20M】20MPa |
被測(cè)介質(zhì) |
詳見密度參照表 |
流量輸入信號(hào) | 【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC |
輸出信號(hào) |
【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC |
供電電壓 | 【5】±15VDC 【4】24VDC |
通訊方式 | 【8】RS485 【2】RS232 |
密封材質(zhì) | 【V】氟橡膠 【T】丁腈橡膠 【N】氯丁橡膠 【Y】其他 |
使用接頭 | 【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他與廠家聯(lián)系 |
選型舉例 | ACU20P M A M N 100K 007 A1 B1 5 8 V E |